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专业洁净室净化工程
设计、施工、维护
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专业洁净室净化工程
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净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表7 美国联邦规格No.209B
|
净化间级别 |
粒子 |
室内压力Pa mmH2O |
温度 |
湿度 |
气流 换气次数 |
照度 |
|||||
|
粒径 um |
累计粒子数 |
范围 （℃） |
推荐值（℃） |
差 （℃） |
高 （%） |
最低 % |
误差 % |
||||
|
100
1000
10000
100000 |
≥0.5
≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100
1000 10 10000 65 100000 700 |
+13 （+1.3） 以上 |
19.4— 25 |
22.2 |
±2.8 特别时为±1.4 |
45 |
30 |
±10 特别时为±5 |
层流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非层流方式 ≥20次/h |
1080--1620 |
表8 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*
|
级别名称** |
级别上限值 |
||||||||||
|
粒径 0.1um |
粒径 0.2um |
粒径 0.3um |
粒径 0.5um |
粒径 5um |
|||||||
|
SI*** |
English Unit |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
1
10
100
1000
10000
100000 |
350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- |
9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- |
75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- |
2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- |
30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- |
0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- |
10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 |
0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 |
-- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 |
-- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D :粒径（um）
***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）
图1，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit表示级别。
图2，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度
表9，JIS B 9920主要内容
表10，美国航空宇宙局规格主要内容
|
生物净化间级别 |
粒子 |
生物粒子 |
室内 压力 Pa mmH2O
|
温度℃ |
湿度 % |
气流 换气次数
|
照度 Lx |
||
|
粒径 um |
累计 粒子数 个/ft (个/l) |
浮游量 个/ft (个/l) |
沉降量 |
||||||
|
100
10000
100000 |
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5 |
100 （3.5）
10000 （350） 65（2.3）
100000 （3500） 700(25) |
0.1 （0.0035）
0.5 （0.0176）
2.5 （0.0884） |
1200 （12900）
6000 （64000）
30000 （323000） |
+13 （+1.3） 以上 |
推 荐 值 |
40 — 50 |
层流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非层流式 ≥20次/h |
1080— 1620 |
如前所述，净化车间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。
就一般级别而言，表11可以作为参考。
表11，各产业所要求的净化车间级别一览
|
领域和产业 |
洁净度标准（级别） |
内容 |
||
|
SI |
English unit |
|||
|
半导体工业 （IC、LSI等） |
掩模板对准工艺 |
M3.5 |
100 |
|
|
刻蚀工艺 |
M3.5 |
100 |
腐蚀加工 |
|
|
扩散工艺 |
M3.5 |
100 |
高纯度扩散 |
|
|
蒸着工艺 |
M3.5 |
100 |
高纯度电镀 |
|
|
涂布工艺 |
M3.5 |
100 |
感光剂涂布 |
|
|
电子设备 |
计算器制造 |
M5.5 |
10,000 |
磁头 |
|
阴极射线管 |
M5.5 |
10,000, |
遮屏 |
|
|
磁带 |
M5.5 |
10,000 |
防止杂音 |
|
|
精密仪器 |
陀螺、微型轴承 |
M5.5 |
10,000 |
提高精度 |
|
导弹部件、继电器 |
M5.5 |
10,000 |
防止误动作 |
|
|
钟表、小型计量仪器 |
M5.5 |
10,000 |
组立、封装、修理 |
|
|
光学、印刷 |
照相机、印刷电路板 |
M5.5 |
10,000 |
制作 |
|
镜头、胶片 |
M4.5 |
1,000 |
连接 |
|
|
电子制版 |
M5.5 |
10,000 |
制作、检查 |
|
|
化学药品 |
注射液充填 |
M3.5 |
100 |
调和、充填 |
|
无菌动物养育 |
M3.5 |
100 |
SPF |
|
|
化学药品 |
抗生物 |
M5.5 |
10,000 |
充填、检查 |
|
一般医疗品 |
M6.5 |
100,000 |
制造 |
|
|
食品 |
酿造、发酵 |
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