检查净化车间工作正常所进行的各项测试中,其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染,从而防止污染在室内的积累,室内必须有充分的气流流动。所以对气流必须进行检测。
在紊流洁净室中,风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚,无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。
在单向流净化车间中,为保证关键区域达到最洁净的水平,其送风直接来自高效过滤器。
净化车间垂直层流式方向要保持均一气流必须:
(1)吹出面的风速不可有速度上的差异;
(2)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25——0.5m/s之间
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
净化车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
净化车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
对洁净空气流组织的一般要求如下:
1.送入的洁净气流能尽快均匀分布或扩散到整个洁净区,以冲淡室内污染源散发的尘和菌对空气的污染,维持生产环境所要求的洁净度。
2.能快捷地把污染源散发到无尘车间的尘和菌从室内排走,避免或减少涡流和死角,缩短尘、菌在室内滞留时间,以减小与产品接触的几率。
3.兼顾室内温、湿度均匀性等空调送风的要求及工作人员的舒适要求。 由于与一般空调房间的主要任务不同,所以气流组织的方案也必然有所差异。
对于舒适性空调房间和普通温、湿度精度的生产车间,考虑其空调气流组织方案的基点是采用尽可能大的送风温差,以便减小送风量,使系统设备、管道都更小,初投资和运行费用更低。所以通常夏季采用机器露点送风。
因为送入空气与室温温差大,为避免室内生活区、工作区温度不均匀或有吹冷风、吹热风的不舒适感,所以无论是采用侧送风口或是顶送散流器,都要求其出风有较强的紊流系数,具有一定的引射能力,以利于吸收了室内热湿负荷的空气被卷吸及掺混到送风气流中,使送风气流的温、湿度尽快地接近于室内设计温、湿度。
当送风气流以回流的状态进入生活区、工作区时,其温、湿度从工艺要求来看,已进入控制精度范围;从人的感受来说也是柔和和可接受的。普通空调房间侧送侧回、送风形成贴附射流就是空调房间典型的气流组织方案。
空调房间气流组织的特点是除了普通存在送风卷吸面上升的气流外,还有很多的涡流。这种上升气流与尘、菌受重力作用向下运动的方向相逆,尘、菌将随气流扬起,一些颗粒较大的尘粒将明显滞后于气流,在室内滞留时间将更长。涡流也助长了尘、菌在室内的回旋,而不是快捷地随气流从室内离去。这都是与洁净空气流组织的原则不同所致。
无尘车间的气流流型无尘车间的气流组织或气流形态主要分为两类。一类是非单向流,以往称之为常规流型或乱流流型;另一类是单向流,以往习惯称之为层流流型。 往往无尘车间内不同区域有不同的洁净度要求,因此常常将前两类流型组合在一起。要求高的部位采用单向流,室内其他地方采用非单向流。
这种气流组织方式,称为混合流型。例如常风的灌封车间内仅在灌封部位上方设置所谓洁净罩,向下方送出单向气流。而车间大部分仍采用上送下回的非单向流送回风方式。 此外还有一种较为特殊的气流组织形式,称之矢流或辐射流,也有称其为斜流流型。它应属于非单向流,但又有比较接近于水平单向流的效果,而又远较单向流在构造上简单。特别是在美国的药厂采用较普遍。 非单向流适用于药厂的大部分无尘车间。其送、回风气流组织形式以顶送、侧下回最为典型。
尽管顶送高效过滤器风口带有孔板散流器,有助于送风车间的洁净气流的扩散,但在高效过滤器风口的正下方,处于所谓送风主流区的中央,它的洁净度一般明显高于周围。而周围区域是送风进入室内后,不断卷吸入室内的污染空气、气流截面不断扩大所覆盖的部分,至于在相邻风口之间或房间四角等送风气流未能覆盖部位的洁净度更会差些。