无尘室等级如何定义
无尘室等级如何定义无尘室等级如何定义
无尘室的等级说明
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。
首先是等级定义的模式如下：
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定的状态，例如：
Class X (at Y μm )，At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
Fed-Std-209E洁净度定义
Class Name
Class Limits
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
SI
U.S.
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
M 1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
-
M 1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
-
-
M 2
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
M 2.5
10
12,400
350
2,650
75.0
1,060
30.0
353
10.0
-
-
M 3
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
-
-
M 3.5
100
-
-
26,500
750
10,600
300
3,530
100
-
-
M 4
-
-
75,700
2140
30,900
875
10,000
283
-
-
M 4.5
1,000
-
-
-
-
-
-
35,300
1,000
247
7.00
M 5
-
-
-
-
-
-
100,000
2,830
618
17.5
M 5.5
10,000
-
-
-
-
-
-
353,000
10,000
2,470
70.0
M 6
-
-
-
-
-
-
1,000,000
28,300
6,180
175
M 6.5
100,000
-
-
-
-
-
-
3,530,000
100,000
24,700
700
M 7
-
-
-
-
-
-
10,000,000
283,000
61,800
1,750
ISO-14644洁净度定义
ISO classification number(N)
Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
0.1mm
0.2mm
0.3mm
0.5mm
1mm
5mm
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度，N是洁净度，D是粒径
比较以上两表我们可看出
209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径0.5mm的粒子非常具有代表性
在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性